2020年2月18日 热膨胀系数(室温~1000℃) 1/K 导热系数(板厚方面) W/m・K 导热系数(面内方面) W/m・K 比熱容 J/g・K 电阻率 Ω・cm 杂质扩散系数(cm2 / sec, at : 1300℃) 元素 CVD-SiC Si 耐腐蚀性 气氛炉 温度 浸入时间(h) 重量变化 不純物濃度 SiC的各种物理性质 - Ferrotec Taiwan Co.,Ltd.2020年2月18日 热膨胀系数(室温~1000℃) 1/K 导热系数(板厚方面) W/m・K 导热系数(面内方面) W/m・K 比熱容 J/g・K 电阻率 Ω・cm 杂质扩散系数(cm2 / sec, at : 1300℃) 元素 CVD-SiC Si 耐腐蚀性 气氛炉 温度 浸入时间(h) 重量变化 不純物濃度
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了解更多2008年12月19日 结果表明,完美的2H-、3C-、4H-和6H-SiC多型体的热导率在260~420 W/(mK)范围内,其中3C-SiC的热导率最大。 多型之间。 4H-SiC的热导率随着杂质浓度在1.0×1017以上增加到1.0×1018 1/cm3而降低。 分子动力学计算碳化硅热导率,Japanese Journal of Applied ...2008年12月19日 结果表明,完美的2H-、3C-、4H-和6H-SiC多型体的热导率在260~420 W/(mK)范围内,其中3C-SiC的热导率最大。 多型之间。 4H-SiC的热导率随着杂质浓度在1.0×1017以上增加到1.0×1018 1/cm3而降低。
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了解更多2008年12月19日 结果表明,完美的2H-、3C-、4H-和6H-SiC多型体的热导率在260~420 W/(mK)范围内,其中3C-SiC的热导率最大。 多型之间。 4H-SiC的热导率随着杂质浓度在1.0×1017以上增加到1.0×1018 1/cm3而降低。 分子动力学计算碳化硅热导率,Japanese Journal of Applied ...2008年12月19日 结果表明,完美的2H-、3C-、4H-和6H-SiC多型体的热导率在260~420 W/(mK)范围内,其中3C-SiC的热导率最大。 多型之间。 4H-SiC的热导率随着杂质浓度在1.0×1017以上增加到1.0×1018 1/cm3而降低。
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